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J-GLOBAL ID：201802226628851640   整理番号：18A0849662

低コストCMOSマイクロボロメータのための高充填率構造の設計と実装【JST・京大機械翻訳】

Design and implementation of high fill-factor structures for low-cost CMOS microbolometers

著者 (2件)： Erturk Ozan (Middle East Technical University, Electrical and Electronics Engineering, Turkey) ,  Akin Tayfun (Middle East Technical University, Electrical and Electronics Engineering, Turkey)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： MEMS  ページ： 692-695  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 広帯域吸収性能用のSOIダイオード型低コスト無冷却マイクロボロメータに集積した高充填率吸収体構造の利用について報告した。機械的および光学的シミュレーションを行い,吸収体構造の増強および機械的安定性を評価した。文献で初めて報告されたように,同じセンサ上で異なる吸収体構造によって提供される改善を評価するために,同じ検出器焦点面アレイ(FPA)上に4種類の異なる吸収体構造を用いた。本研究は,160の・120のFPAフォーマットを持つ50μmピッチ画素について行った。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 広帯域 ,  吸収体 ,  シミュレーション ,  *CMOS ,  画素 ,  ダイオード ,  センサ ,  検出器
準シソーラス用語： 焦点面アレイ ,  機械的安定性 ,  *充填率 ,  *マイクロボロメータ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  医用素材  (GA05040H) ,  構造力学一般  (HD01000X) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  分子構造  (EB03020Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： CMOS ,  マイクロボロメータ ,  充填率 ,  設計 ,  実装