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J-GLOBAL ID：201802226920395830   整理番号：18A0052789

その場原子間力顕微鏡法によるパルスレーザ堆積酸化物成長の画像化

Imaging pulsed laser deposition oxide growth by in situ atomic force microscopy

著者 (5件)： Wessels W. A. (Inorganic Materials Science, MESA Institute for Nanotechnology, University of Twente, P.O. Box 217, NL-7500AE Enschede, The Netherlands) ,  Bollmann T. R. J. (Inorganic Materials Science, MESA Institute for Nanotechnology, University of Twente, P.O. Box 217, NL-7500AE Enschede, The Netherlands) ,  Post D. (Inorganic Materials Science, MESA Institute for Nanotechnology, University of Twente, P.O. Box 217, NL-7500AE Enschede, The Netherlands) ,  Koster G. (Inorganic Materials Science, MESA Institute for Nanotechnology, University of Twente, P.O. Box 217, NL-7500AE Enschede, The Netherlands) ,  Rijnders G. (Inorganic Materials Science, MESA Institute for Nanotechnology, University of Twente, P.O. Box 217, NL-7500AE Enschede, The Netherlands)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 88  号： 12  ページ： 123902-123902-9  発行年： 2017年12月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 成長中の酸化物薄膜の形態を可視化し,それによってその成長挙動準実時間の研究を可能にするために,我々はパルスレーザ堆積(PLD)真空設備において,原子間力顕微鏡(AFM)を設計し統合した。AFMスキャナとPLDターゲットは,その場顕微鏡法が後の堆積パルスの後に利用できる様に速い試料移動法と結合した,単一支持枠に統合する。その場顕微鏡は室温から上に700°Cまでと,10^-6mbarの真空ベース圧力から,上に1mbarまでに及ぶ(工程)圧力で操作でき,酸化膜の成長の典型的なPLD条件である。この計器の性能を,典型的酸化物PLD成長条件下のユニットセル高さ表面ステップと表面形態を分解して説明する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 顕微鏡観察 ,  *原子間力顕微鏡 ,  *レーザ蒸着 ,  パルスレーザ ,  薄膜 ,  酸化物 ,  温度 ,  圧力 ,  表面構造
準シソーラス用語： レーザ堆積

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 原子間力顕微鏡法 ,  パルスレーザ堆積 ,  酸化物 ,  成長 ,  画像化