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J-GLOBAL ID：201802227031346717   整理番号：18A1489994

大気圧プラズマにおけるプラズマ-表面相互作用:材料中の電子加熱のその場測定【JST・京大機械翻訳】

Plasma-surface interactions in atmospheric pressure plasmas: In situ measurements of electron heating in materials

著者 (9件)： Walton S. G. (Plasma Physics Division, Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Ave. SW, Washington DC 20375-5346, USA) ,  Foley B. M. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22904, USA) ,  Tomko J. (Department of Materials Science and Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22904, USA) ,  Boris D. R. (Plasma Physics Division, Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Ave. SW, Washington DC 20375-5346, USA) ,  Gillman E. D. (Plasma Physics Division, Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Ave. SW, Washington DC 20375-5346, USA) ,  Hernandez S. C. (Plasma Physics Division, Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Ave. SW, Washington DC 20375-5346, USA) ,  Giri A. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22904, USA) ,  Petrova Tz. B. (Plasma Physics Division, Naval Research Laboratory, 4555 Overlook Ave. SW, Washington DC 20375-5346, USA) ,  Hopkins P. E. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of Virginia, Charlottesville, Virginia 22904, USA)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 124  号： 4  ページ： 043301-043301-12  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ曝露中の表面へのエネルギーフラックスと関連する表面加熱は,プラズマベースの材料合成と加工中に起こる物理化学的変化に寄与するので,長年の興味がある。実際に,反応性化学種のフラックスと協調して,粒子と光子のフラックスを介して表面に供給されるエネルギーは,プラズマ処理環境に依存する有効性を伴って,化学的に改質,エッチング,および/または堆積材料に役立つ。プラズマ合成と処理のユニークな特徴は,ほとんどの供給エネルギーが短い(ピコ秒)時間スケールで表面近傍に吸収されることである。熱エネルギーの散逸は,電子-電子および/または電子-フォノン相互作用を通して,それらが材料を伝搬するときに進行し,緩和時間スケールは,大きさがより遅くなることができる。典型的には,表面はバルク材料との熱平衡ではない。従って,プラズマ-表面相互作用の動力学を完全に評価するためには,高速で表面敏感な技術が必要である。本研究では,薄膜の熱的性質を測定するために典型的に用いられる表面敏感技術であるポンププローブ時間領域熱反射率を用いて,大気圧プラズマジェットへの曝露中の金属薄膜の電子加熱を決定した。結果を,電流測定と併せて,プラズマジェット-表面相互作用の一次理解を開発するために用いた。結果は,プラズマジェットにより供給されたエネルギーが,プラズマジェット半径と整合する領域上の薄膜内の電子エネルギーの局所的増加を引き起こすことを示した。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高速度 ,  ピコ秒 ,  *相互作用 ,  緩和時間 ,  熱平衡 ,  熱特性 ,  *大気プラズマ ,  プラズマジェット ,  金属薄膜 ,  エッチング ,  化学種 ,  光子 ,  *プラズマ ,  プラズマ曝露 ,  薄膜

分類 (2件)： 固体-プラズマ相互作用  (BJ02033W) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧プラズマ ,  プラズマ-表面相互作用 ,  電子加熱 ,  その場測定