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J-GLOBAL ID：201802227292560153   整理番号：18A1515913

ディジタルホログラフィーに基づく高精度球面サブ開口スティッチング干渉法【JST・京大機械翻訳】

High-precision spherical subaperture stitching interferometry based on digital holography

著者 (4件)： Dong Bin (Key Laboratory of Precision Opto-mechatronics Technology, School of Instrumentation Science & Optoelectronics Engineering, Beihang University, Beijing 100191, China) ,  Xiao Wen (Key Laboratory of Precision Opto-mechatronics Technology, School of Instrumentation Science & Optoelectronics Engineering, Beihang University, Beijing 100191, China) ,  Pan Feng (Key Laboratory of Precision Opto-mechatronics Technology, School of Instrumentation Science & Optoelectronics Engineering, Beihang University, Beijing 100191, China) ,  Che Leiping (Key Laboratory of Precision Opto-mechatronics Technology, School of Instrumentation Science & Optoelectronics Engineering, Beihang University, Beijing 100191, China)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 110  ページ： 132-140  発行年： 2018年 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しいサブ開口ステッチング干渉測定法を提案し,ディジタルホログラフィー技術,サブ開口ステッチングアルゴリズム,および全身収差較正を組み合わせたワークショップ試験のための高開口球面を測定した。各サブ開口は,測定環境の影響を効果的に減らすことができるように,単一ショットによるデジタル軸外ホログラフィーによって,正確に測定される。これらのサブ開口をステッチングすることによって高精度の完全開口形状を得て,一方,サブ開口アラインメント誤差と全身収差をZernike多項式フィッティングによる最小二乗法によって正確に補償することができた。一般的な環境において,凹球,凸球,半球を含む三つの球面表面を試験することにより,このアプローチを検証した。さらに,測定結果を,Zygoの大開口干渉計とQEDのサブ開口ステッチング干渉計を用いることによるステッチング結果を用いて,完全開口結果と比較した。提案した方法に基づく結果は,市販の干渉計と一致した。特に,RMSの相対偏差は凹形と凸形の球を試験するために0.009λと0.02λであり,半球を試験するためには0.011λである。この方法は市販の干渉計と同等の測定精度を持つだけでなく,他のサブ開口ステッチング干渉法よりもロバストで,実現可能性があり安価である。著者らは,ワークショップ環境において球面表面をテストするために,反干渉方法を提供した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *干渉 ,  Zernike多項式 ,  アラインメント ,  収差 ,  ロバスト性 ,  粒状材 ,  測定精度 ,  干渉計 ,  *開口 ,  アルゴリズム ,  *ホログラフィー ,  *球面 ,  ディジタル方式
準シソーラス用語： *高精度 ,  *ディジタルホログラフィー , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 干渉法 ,  サブ開口縫合 ,  ディジタルホログラフィー ,  Zernike多項式あてはめ ,  表面測定

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  ホログラフィー一般  (BD03071V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ディジタルホログラフィー ,  球面 ,  サブ ,  スティッチング ,  干渉法