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J-GLOBAL ID：201802227638454541   整理番号：18A0228672

ブロック共重合体自己組織化の実時間原子間力顕微鏡撮像

Real-Time Atomic Force Microscopy Imaging of Block Copolymer Directed Self Assembly

著者 (6件)： RAYBIN Jonathan (Univ. Chicago, Illinois, USA) ,  REN Jiaxing (Univ. Chicago, Illinois, USA) ,  CHEN Xuanxuan (Univ. Chicago, Illinois, USA) ,  GRONHEID Roel (IMEC, Leuven, BEL) ,  NEALEY Paul F. (Univ. Chicago, Illinois, USA) ,  SIBENER S. J. (Univ. Chicago, Illinois, USA)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 17  号： 12  ページ： 7717-7723  発行年： 2017年12月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ケモエピタクシーのあるリソグラフィーテンプレートを用いる自己組織化リソグラフィーで,化学的にパターン化されたテンプレート上への対称性PS-b-PMMAジブロック共重合体の自己組織化を,その場熱アニーリング中に測定した。高速で環境制御した原子間力顕微鏡を用いて,実空間実時間で個々のミクロドメイン結合のパターン生成を追跡し,欠陥修復機構を直接観察した。スティッチと呼ばれる試料に固有の準安定非バルクモルフォロジーによりパターンアラインメントは媒介されるが,スティッチから平衡ラメラ縞模様への多様で異方性の機構を観察した。

シソーラス用語： エピタクシー ,  *ジブロック共重合体 ,  *自己組織化 ,  時間 ,  *原子間力顕微鏡 ,  リソグラフィー ,  鋳型反応 ,  *ポリスチレン ,  *ポリメタクリル酸メチル ,  熱処理 ,  修理 ,  ラメラ
準シソーラス用語： *PMMA ,  ケモエピタクシー ,  テンプレート【鋳型反応】 ,  欠陥修復 ,  実時間 ,  熱アニーリング

分類 (3件)： 高分子固体の構造と形態学  (CG02022M) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  試料技術  (BA02070O)

タイトルに関連する用語 (5件)： ブロック共重合体 ,  自己組織化 ,  実時間 ,  原子間力顕微鏡 ,  撮像