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J-GLOBAL ID：201802227852003211   整理番号：18A2071635

ガラス管基板上に作製した酸化亜鉛(ZnO)ナノ粒子を用いたアンモニアガス検出【JST・京大機械翻訳】

Ammonia Gas Detection Using Fabricated Zinc Oxide (ZnO) Nanoparticles on Glass Tube Substrates

著者 (3件)： Punzalan Kurt Brian Daine B. (San Pablo City Science High School; San Pablo, Philippines, 4000) ,  Manalo Franz Kevin B. (San Pablo City Science High School; San Pablo, Philippines, 4000) ,  Florido Emmanuel A. (University of the Philippines Los Banos, Institute of Mathematical Sciences and Physics; Laguna, Philippines, 4031)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 775  ページ： 266-271  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,連続イオン層吸着と反応(SILAR)技術によりガラス管基板上に堆積した酸化亜鉛(ZnO)膜のアンモニア(NH_3)ガス検知能力を決定することを目的とした。作製した膜を異なる温度でアニールした。センサ膜を種々の量の水酸化アンモニウム(NH_4OH)に曝露し,100万ppm(ppm)に変換した。濃度595ppmから1189ppmまでの電圧変化は線形傾向を示した。しかし,膜飽和による2378ppmと3964ppmの濃度では傾向は見られなかった。結果は,250°C,300°C,350°C,および400°Cでアニールした膜は,2.7×10~4V/ppm,1.0×10~4V/ppm,2.3×10~4V/ppm,および1.5×10~4V/ppmの感度を示した。さらに,本研究の研究は,高品質ガスセンサが低コストで製造できることを証明した。Copyright 2018 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： センサ ,  電圧変動 ,  *基板 ,  *アンモニア ,  *ナノ粒子 ,  吸着 ,  *ガラス管 ,  水酸化アンモニウム ,  ガスセンサ ,  *酸化亜鉛
準シソーラス用語： ローコスト ,  高品質 ,  ガス検知 ,  *アンモニアガス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： アンモニア ,  SILAR ,  感度 ,  酸化亜鉛

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (6件)： ガラス管 ,  作製 ,  酸化亜鉛 ,  ZnO ,  ナノ粒子 ,  アンモニアガス