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J-GLOBAL ID：201802227873593965   整理番号：18A0265903

室温での選択的水蒸気センシングのための高分子官能化ナノ構造多孔質シリコン【Powered by NICT】

Polymer functionalized nanostructured porous silicon for selective water vapor sensing at room temperature

著者 (3件)： Dwivedi Priyanka (Centre for Applied Research in Electronics (CARE), Indian Institute of Technology (IIT), Hauz Khas, New Delhi 110016, India) ,  Das Samaresh (Centre for Applied Research in Electronics (CARE), Indian Institute of Technology (IIT), Hauz Khas, New Delhi 110016, India) ,  Dhanekar Saakshi (Centre for Applied Research in Electronics (CARE), Indian Institute of Technology (IIT), Hauz Khas, New Delhi 110016, India)
資料名： Superlattices and Microstructures  (Superlattices and Microstructures)
巻： 104  ページ： 547-552  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0600B  ISSN： 0749-6036  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,室温で水蒸気の感度増強のための多孔質シリコン(PSi)の表面処理を強調した。簡単かつ低コスト技術はPSiの作製と官能化のために使用した。スピン被覆したポリビニルアルコール(PVA)をPSi表面を官能化するための使用した。形態学的および構造的研究をそれぞれSEMとXRD/Raman分光法を用いて試料を解析した。接触角測定は,表面の濡れ性を評価するために行った。PSiと官能化されたPSi試料は50 500ppmの範囲でエタノール,アセトン,イソプロピルアルコール(IPA)と水蒸気のような種々の検体の存在下でのセンサとして試験した。電気的測定は,官能化表面上に作製した平行アルミニウム電極から採取した,金属マスクと熱蒸着した。非官能化センサと比較して官能化されたPSiセンサは室温での水蒸気に応答して選択性と増強された示した。結果は,室温で効率的かつ選択的水蒸気検出を示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *官能化 ,  X線回折 ,  Raman分光法 ,  増感 ,  濡れ ,  *ナノ構造 ,  モルフォロジー ,  接触角 ,  真空蒸着 ,  スピンコーティング ,  電気測定 ,  センサ ,  *多孔質シリコン ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： アルミニウム電極 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 高分子 ,  多孔質シリコン ,  Selectivity ,  センサ

分類 (1件)： 界面の電気的性質一般  (BM03081H)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (7件)： 室温 ,  水蒸気 ,  センシング ,  高分子 ,  官能化 ,  ナノ構造 ,  多孔質シリコン