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J-GLOBAL ID:201802228173943848   整理番号:18A0228662

数ナノメータ厚多結晶MoS2膜の弾性特性 非破壊研究

Elastic Properties of Few Nanometers Thick Polycrystalline MoS2 Membranes: A Nondestructive Study
著者 (10件):
資料名:
巻: 17  号: 12  ページ: 7647-7651  発行年: 2017年12月 
JST資料番号: W1332A  ISSN: 1530-6984  CODEN: NALEFD  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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顕微Brillouin光散乱法により,膜厚数ナノメータの超薄膜多結晶MoS2のYoung率と残留応力を測定した。結晶粒界の機械特性への影響を非接触,非破壊で正確に測定できた。多結晶膜MoS2はバルク状態と比べて,著しい弾性軟化を示した。応力への著しい非線形弾性応答を示し,それを膜内の不均一な歪分布に関連づけた。
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分類 (3件):
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無機化合物一般及び元素  ,  光の散乱,回折,干渉  ,  固体の機械的性質一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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