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J-GLOBAL ID:201802229103590181   整理番号:18A1061129

平面凸水晶共振器のためのサポートの最適設計

Optimal Design of Support for Planoconvex Quartz Resonator
著者 (4件):
資料名:
巻: 30  号: 5 (2)  ページ: 1063-1071  発行年: 2018年 
JST資料番号: L0338A  ISSN: 0914-4935  CODEN: SENMER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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本論文では,新しく開発したエッチングプロセスを用いて作製した,基本的な平凸ATカット水晶共振器のための支持体の最適設計について報告した。三次元有限要素モデルを確立し,固有振動数解析を行った。共振器のエネルギートラッピング性能を定量的に記述するために,エネルギートラッピング速度と呼ばれるパラメータを導入したが,これは,電極領域の外側の内部の振動エネルギーの比によって定義された。著者らの新しい設計の2つのタイプを本研究で評価し,大きなエネルギー捕獲速度を提供するための最適なものを決定した。計算結果に基づいて,共振器を製作し,それらのQ値を測定した。計算および実験結果は,共振器性能の効率の改善を示した。高いQ値も得られた。(翻訳著者抄録)
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分類 (2件):
分類
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振動論  ,  固体の機械的性質一般 
引用文献 (22件):
  • C. J. Wilson: J. Phys. D: Appl. Phys. 7 (1974) 2450
  • S. Seto, S. Horiuchi, and K. Yamada: Jpn. J. Appl. Phys. 49 (2010) 07HC05.
  • J. Wang, Q. Pan, L. Yang, and M. Chao: Proc. 2010 IEEE Int. Ultrasonics Symp. (IEEE, 2010) 1246.
  • R. D. Mindlin and P. C. Y. Lee: Int. J. Solids Struct. 2 (1966) 125.
  • R. J. Byrne, P. Lloyd, and W. J. Spencer: J. Acoust. Soc. Am. 43 (1966) 232.
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