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J-GLOBAL ID：201802229257928384   整理番号：18A0815468

酸素プラズマを用いたアルミニウム誘起結晶化により得られた薄いゲルマニウム層の速度論と結晶集合組織の改善【JST・京大機械翻訳】

Kinetics and crystal texture improvements on thin germanium layers obtained by aluminium induced crystallization using oxygen plasma

著者 (8件)： Pelati D. (RIBER SA, 31 rue Casimir Perier, 95870 Bezons, France) ,  Pelati D. (Centre for Nanoscience and Nanotechnology, CNRS, Universite Paris-Sud, Universite Paris-Saclay, Route de Nozay, 91460 Marcoussis, France) ,  Pelati D. (Institut Photovoltaieque d’Ile-de-France (IPVF), Antony, France) ,  Mauguin O. (Centre for Nanoscience and Nanotechnology, CNRS, Universite Paris-Sud, Universite Paris-Saclay, Route de Nozay, 91460 Marcoussis, France) ,  Largeau L. (Centre for Nanoscience and Nanotechnology, CNRS, Universite Paris-Sud, Universite Paris-Saclay, Route de Nozay, 91460 Marcoussis, France) ,  Brisset F. (Institut de Chimie Moleculaire et des Materiaux d’Orsay, CNRS, Universite Paris-Sud, Universite Paris-Saclay, 91405 Orsay, France) ,  Glas F. (Centre for Nanoscience and Nanotechnology, CNRS, Universite Paris-Sud, Universite Paris-Saclay, Route de Nozay, 91460 Marcoussis, France) ,  Oehler F. (Centre for Nanoscience and Nanotechnology, CNRS, Universite Paris-Sud, Universite Paris-Saclay, Route de Nozay, 91460 Marcoussis, France)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 343  ページ： 121-126  発行年： 2018年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 非晶質シリカ基板上の強く組織化した結晶性ゲルマニウム層の作製は,アルミニウム誘起層交換機構を用いたアルミニウム誘起結晶化により達成できる。これは,特定の化学を有するAlとGe層の間に拡散障壁または中間層を必要とする。ここでは,標準空気曝露プロセスへの代替ルートとして,この中間層に及ぼす酸素プラズマの影響を調べた。プラズマ処理は結晶化の動力学を強く減速させることを見出した。これは,欠陥密度が空気酸化のそれと類似しているが,より小さいサイズの欠陥で,より高いプロセス温度によって補償できる。これは実質的にGe層の全体的集合組織を改善し,ほぼ完全な(111)配向を得た。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラズマ処理 ,  *集合組織 ,  *結晶化 ,  欠陥密度 ,  空気酸化 ,  結晶度 ,  *アルミニウム ,  *ゲルマニウム ,  拡散障壁 ,  *速度論
準シソーラス用語： 中間層 ,  非晶質シリカ ,  *酸素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 金属誘起結晶化 ,  ゲルマニウム ,  プラズマ酸化 ,  結晶化速度

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 酸素プラズマ ,  アルミニウム ,  誘起 ,  結晶化 ,  ゲルマニウム ,  速度論 ,  結晶集合組織