文献

J-GLOBAL ID：201802229810480069   整理番号：18A1426437

MEMSにおける構造材料としてのポリマ使用の課題と課題:レビュー【JST・京大機械翻訳】

Challenges and Issues of Using Polymers as Structural Materials in MEMS: A Review

著者 (1件)： Li Yunjia (School of Electrical Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 27  号： 4  ページ： 581-598  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高分子は,マイクロ電気機械システムにおいてより広く,より顕著に使用されている。それらは,柔軟性,低剛性,容易な製造,および低コストのような既存のシリコンベースの技術に著しい付加価値を提供する。それにもかかわらず,高分子材料の固有の性質は,機械的ドリフト/破壊(残留応力,環境条件,あるいは粘弾性によって誘起される)と同様に,製造失敗,電気ドリフト/破壊(充電,漏れ,破壊によって誘起される)などのMEMSデバイスにおける構造材料としての新しい課題と課題をもたらす。本論文では,高分子デバイス(特にSU-8)に対するこれらの課題に対する起源,影響,基礎となる物理,および緩和法に関するレビューを提示した。[2017-0191]Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 粘弾性 ,  *MEMS ,  残留応力 ,  高分子 ,  柔軟性 ,  *重合体 ,  ケイ素 ,  剛性 ,  分子素子 ,  *構造材料 ,  付加価値 ,  充電 ,  ドリフト
準シソーラス用語： 環境条件 ,  高分子材料 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  構造材料 ,  ポリマ ,  レビュー