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J-GLOBAL ID：201802230259687192   整理番号：18A0815010

PECVD法により堆積したTiSiCNナノ複合材料被覆の構造と機械的性質に及ぼす相変態の影響【JST・京大機械翻訳】

The effects of phase transformation on the structure and mechanical properties of TiSiCN nanocomposite coatings deposited by PECVD method

著者 (6件)： Abedi Mohammad (Department of Materials Eng., Tarbiat Modares University, P.O. Box 14115-143, Tehran, Iran) ,  Abdollah-zadeh Amir (Department of Materials Eng., Tarbiat Modares University, P.O. Box 14115-143, Tehran, Iran) ,  Bestetti Massimiliano (Department of Chemistry, Materials and Chemical Engineering “Giulio Natta”, Politecnico di Milano, 20131 Milano, Italy) ,  Vicenzo Antonello (Department of Chemistry, Materials and Chemical Engineering “Giulio Natta”, Politecnico di Milano, 20131 Milano, Italy) ,  Serafini Andrea (Department of Chemistry, Materials and Chemical Engineering “Giulio Natta”, Politecnico di Milano, 20131 Milano, Italy) ,  Movassagh-Alanagh Farid (Department of Materials Eng., Tarbiat Modares University, P.O. Box 14115-143, Tehran, Iran)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 444  ページ： 377-386  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,TiSiCN被覆の構造と機械的性質に及ぼす相変態の影響を調べた。炭素と窒素の供給源としてのCH_4/N_2/H_2/Arプラズマにおいて,TiCl_4とSiCl_4をそれぞれTiとSiの前駆体として用いて,TiSiCNナノ複合材料コーティングをAISI H13熱間加工工具鋼上に350°Cまたは500°Cで蒸着した。350°Cで堆積したいくつかの試料をAr雰囲気下で500°Cでアニールした。TiCNナノ結晶と非晶質炭素粒子から成るナノ複合材料構造を有する超硬自己潤滑TiSiCN被覆を,500°Cで堆積またはアニールした試料におけるスピノーダル分解により形成した非晶質SiCN_xマトリックス中に埋め込んだ。さらに,350°Cと500°Cでの堆積中に,チタン化合物の不完全または比較的粗い相偏析のいずれかが達成されることが明らかになった。対照的に,350°Cでの堆積とその後の500°Cでのアニーリングにより,コーティングの機械的性質の敏感な改善により微細構造が得られた。従って,本研究の主な知見は,硬度,接着および摩擦係数のようなTiSiCN被覆の重要な特性の著しい向上が,微細粒ナノ複合材料構造の形成により,低温での堆積およびそれに続く高温でのアニーリングにより得られることである。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ナノ複合材料 ,  *被覆 ,  チタン化合物 ,  微細構造 ,  *ケイ素 ,  *プラズマCVD ,  ナノ結晶 ,  炭素 ,  焼なまし ,  *機械的性質 ,  摩擦係数 ,  工具鋼 ,  硬度 ,  *チタン ,  スピノーダル分解

著者キーワード (5件)： PECVD ,  トライボロジーコーティング ,  TiSiCN ,  ナノ複合材料の微細 ,  スピノーダル硬化

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： PECVD ,  堆積 ,  ナノ複合材料 ,  機械的性質 ,  相変態