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J-GLOBAL ID：201802230413281470   整理番号：18A1797122

差動型微分干渉顕微鏡を基にした固体表面を濡れ広がる液膜先端厚さのナノメートル精度計測法の開発

著者 (3件)： 伴野元洋 (東京理大 理) ,  大野風優 (東京理大 理) ,  由井宏治 (東京理大 理)
資料名： 日本分析化学会年会講演要旨集  (分析化学講演要旨集)
巻： 67th  ページ： 85  発行年： 2018年08月29日 
JST資料番号： G0563B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *干渉顕微鏡 ,  *表面 ,  *濡れ ,  *液膜 ,  測定精度 ,  *長さ ,  単位 ,  *長さ測定 ,  ウエハ【IC】 ,  シリコーン油 ,  *厚み測定
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  *ナノメータ ,  *固体表面 ,  微分干渉顕微鏡

分類 (2件)： 固-液界面  (CB12050B) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 差動 ,  微分干渉顕微鏡 ,  固体表面 ,  液膜 ,  厚さ ,  計測法 ,  開発