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J-GLOBAL ID：201802230476203445   整理番号：18A0725423

非Gauss接触面の高次統計モーメントを説明するMEMSスティクションの確率的マルチスケールモデル【JST・京大機械翻訳】

Stochastic Multiscale Model of MEMS Stiction Accounting for High-Order Statistical Moments of Non-Gaussian Contacting Surfaces

著者 (5件)： Hoang T. V. (Department of Aerospace and Mechanical Engineering, University of Lie`ge, Lie`ge, Belgium) ,  Wu L. (Department of Aerospace and Mechanical Engineering, University of Lie`ge, Lie`ge, Belgium) ,  Golinval J.-C. (Department of Aerospace and Mechanical Engineering, University of Lie`ge, Lie`ge, Belgium) ,  Arnst M. (Department of Aerospace and Mechanical Engineering, University of Lie`ge, Lie`ge, Belgium) ,  Noels L. (Department of Aerospace and Mechanical Engineering, University of Lie`ge, Lie`ge, Belgium)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 27  号： 2  ページ： 137-155  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スティクションは移動表面の永久接着を含む微小電気機械システム(MEMS)の破壊モードである。粘着のモデルは,ランダム粗面間の多重アスペリティ接着接触としての接着を典型的に記述し,従って,それらは表面の十分に正確な統計的表現を必要とし,それは非Gaussである。付着が主に接触面の見掛け面積の小さな部分における複数のアスペリティ接着接触によって引き起こされるならば,アスペリティ間の接着接触の数は,均質化モデルに対して十分に統計的に有意ではない可能性がある。スティクション挙動における不確実性を捉えることができる多重アスペリティ接着接触の確率的マルチスケールモデルを提案した。以前の論文はGaussランダム粗面を考慮したが,本論文の目的は,確率的表現が表面高さの高次統計モーメントを説明する非Gaussランダム粗面にこの確率的マルチスケールモデルを拡張することである。このようにして得られた確率的マルチスケールモデルを,文献で報告されたカンチレバービームのスティクション試験の実験データとの比較によって検証した。[2017-0215]Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *MEMS ,  アスペリティ ,  均質化 ,  不確実性 ,  破壊モード ,  *高次統計量 ,  *モーメント ,  接着 ,  多重化
準シソーラス用語： 粘着 ,  *マルチスケールモデル ,  *スティクション ,  *接触面 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 接触面 ,  統計モーメント ,  説明 ,  MEMS ,  スティクション ,  確率 ,  マルチスケールモデル