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J-GLOBAL ID：201802231096247368   整理番号：18A0287156

フェーズフィールド理論に基づくヘテロエピタキシャル構造における表面粗化の連続体モデリング【Powered by NICT】

Continuum modeling of surface roughening in heteroepitaxial structures based on phase field theory

著者 (3件)： Wang Liyuan (Applied Mechanics Lab., School of Aerospace Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Liu Zhanli (Applied Mechanics Lab., School of Aerospace Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Zhuang Zhuo (Applied Mechanics Lab., School of Aerospace Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
資料名： Computational Materials Science  (Computational Materials Science)
巻： 136  ページ： 109-117  発行年： 2017年 
JST資料番号： W0443A  ISSN： 0927-0256  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面ラフニング新しいナノ構造の設計に必須である。本論文では,フェーズフィールド理論に基づく連続体モデルはヘテロエピタキシャル構造の表面粗さを研究するために開発した。長距離秩序パラメータは拡散自由表面形状を表現するために導入した。制約下でのシステムの全自由エネルギーを最小化することにより,準静的機械的平衡と拡散律速表面発展の結合場の方程式が得られた。ほとんど解析的Green関数に基づいた自由表面の既存の位相場モデルとは対照的に,Galerkin有限要素定式化を本論文で導出結合場の方程式の弱形式を解いた。利点は,付加的な合併症のない弾性不均一性と複雑な境界条件を扱うために非常に便利であることである。提案したモデルはヘテロエピタキシャル薄膜の非線形表面形態発展を研究するために適用した。シミュレーションは,初期のランダムな変動を持つヘテロエピタキシャル膜はアニーリングの過程においてアイランドと粗大化を形成へと進展することを示した。粗大化と計算した平均波長の動力学は,既存の実験結果と一致した。もアニーリング中に形成された初期島アレイは類似のサイズ,形状と間隔をもつ島からなることを示している。初期島アレイの形成に及ぼす膜厚と不整合歪の影響を調べた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 自由エネルギー ,  自由表面 ,  拡散律速 ,  不均一性 ,  *連続体 ,  境界条件 ,  秩序パラメータ ,  モデル ,  薄膜 ,  焼なまし ,  ナノ構造 ,  膜厚 ,  Green関数 ,  場の方程式
準シソーラス用語： 連続体モデル , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 表面の粗化 ,  連続体モデル ,  フェーズフィールド理論 ,  有限要素

分類 (2件)： 流体動力学一般  (BC02010G) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： フェーズ ,  フィールド ,  理論 ,  表面粗化 ,  連続体 ,  モデリング