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J-GLOBAL ID:201802231386715400   整理番号:18A0715658

二重アセタール化によるPVAスポンジの物理的強度の強化【JST・京大機械翻訳】

The reinforcement of the physical strength of PVA sponge through the double acetalization
著者 (4件):
資料名:
巻: 198  ページ: 100-107  発行年: 2018年 
JST資料番号: T0428B  ISSN: 1383-5866  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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シリコンウエハを製造するポスト化学機械研磨(ポストCMP)洗浄プロセスで使用されるローラフィルタとして機能するために,細孔形成剤を用いた場合と使用しない場合の二重アセタール化プロセスを通して,ポリ(ビニルアルコール)(PVA)スポンジの物理的強度を強化する効果を調べた。Young率の測定から,二重アセタール化のプロセスは,ホルムアルデヒドの転化率を増加させるため,細孔形成剤を用いた場合と使用しない場合のPVAスポンジの物理的強度を強化することが分かった。本研究では,PVAスポンジの水吸着容量に及ぼす二重アセタール化の影響も調べた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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膜分離 
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