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J-GLOBAL ID：201802231463312592   整理番号：18A0954505

大気圧プラズマ法による低コスト高機能ダイヤモンドライクカーボン薄膜の開発

著者 (2件)： 白倉昌 (慶応大 理工) ,  鈴木哲也 (慶応大 大学院理工学研究科)
資料名： 化学工業  (Chemical Industry)
巻： 69  号： 6  ページ： 447-453  発行年： 2018年06月01日 
JST資料番号： F0101A  ISSN： 0451-2014  CODEN： KAKOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・大気圧プラズマCVDを利用したダイヤモンドライクカーボン(DLC)のコーティングのバリヤ性DLC薄膜と高硬度DLC薄膜の開発状況の紹介。
・PETフィルム上へのガスバリヤ性の高いDLC薄膜作製およびDBD(Dielectric Barrier Dischage:誘電体バリヤ放電)法を利用したローツツーロール式大気圧CVD装置。
・大気圧プラズマCVD法による大面積ガスバリヤコーティングによるコンクリート保護。
・DLC膜と酸化ケイ素系膜との交互積層によるガスバリヤ性の向上およびロール式大気圧プラズマCVD積層膜コーティング装置を用いる方法による紙がラミネートされたナイロン基材の酸素バリヤ性の向上。
・大気圧ストリーマ放電による高硬度DLC膜のコーティング。

シソーラス用語： プラズマCVD ,  大気プラズマ ,  ダイヤモンド状炭素 ,  *DLC膜 ,  *被覆層 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  *プラスチックフィルム ,  膜 ,  ガスバリヤ性 ,  多層膜 ,  複合膜
準シソーラス用語： ダイヤモンドライクカーボン ,  *DLC薄膜 ,  *DLC被覆 ,  ガスバリア膜 ,  酸素バリア性 ,  交互積層膜

分類 (2件)： 表面処理  (YH04112X) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧プラズマ ,  ダイヤモンドライクカーボン ,  薄膜 ,  開発