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J-GLOBAL ID：201802231589681447   整理番号：18A2142455

分光エリプソメトリーによるバイオライフサイエンスのアプリケーション

著者 (2件)： 森山匠 (堀場テクノサービス 分析技セ) ,  NABATOVA-GABAIN Nataliya (堀場テクノサービス)
資料名： Readout  (Readout)
号： 49  ページ： 59-61  発行年： 2018年08月20日 
JST資料番号： L0745A  ISSN： 0915-9916  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・半導体分野をはじめとした様々な分野において薄膜の特性を非破...

シソーラス用語： *偏光解析法 ,...
準シソーラス用語： *DLC【炭素】 ,...

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分類 (2件)： 無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  歯の臨床医学一般  (GT01030Z)

引用文献 (4件)：

• 平川 誠一 他, HORIBA Technical Reports, 21, 26(2000)
• 特開2014-57578
• Y. Murayama, et al., Abstract of 2016 Hong Kong International Conference on Engineering and Applied Sciences, HKICEAS-4905
• 特開2016-128780

タイトルに関連する用語 (3件)： 分光エリプソメトリー ,  ライフサイエンス ,  アプリケーション