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J-GLOBAL ID：201802231709277950   整理番号：18A0155538

Co_2FeAl合金膜の磁気的性質に及ぼすアニーリングと厚さの影響【Powered by NICT】

Annealing and thickness effects on magnetic properties of Co₂FeAl alloy films

著者 (5件)： Wang Ke (Lab for Information Storage and Film Technology, College of Information Science and Engineering, Huaqiao University, Xiamen, 361021, China) ,  Xu Zhan (Lab for Information Storage and Film Technology, College of Information Science and Engineering, Huaqiao University, Xiamen, 361021, China) ,  Ling Fujin (Lab for Information Storage and Film Technology, College of Information Science and Engineering, Huaqiao University, Xiamen, 361021, China) ,  Wang Yahong (Lab for Information Storage and Film Technology, College of Information Science and Engineering, Huaqiao University, Xiamen, 361021, China) ,  Dong Shuo (Lab for Information Storage and Film Technology, College of Information Science and Engineering, Huaqiao University, Xiamen, 361021, China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 435  ページ： 1125-1135  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2~100nmの広い厚さ範囲でCo_2FeAl(CFA)膜を室温でスパッタ蒸着した。垂直磁気異方性(PMA)は,CFA厚さ2.3~4.9nmのPd/CFA/MgOのアニールした構造で達成された。2×10~6erg/cm~3PMAは300~350°Cの温度範囲でアニールした構造で実証した。Pd/CFAとCFA/MgOの界面によるPMAへの正の寄与を同定した。膜厚が5nmまでCFA合金または以上でMgO/CFA/Taの堆積したままの構造に対して983.9±30.1emu/ccの高い有効飽和磁化はフィッティングから導出し,10~4erg/cm~3大きさの面内一軸磁気異方性は角度依存磁気測定により明らかにした。飽和磁化の増加に加えて,4倍立方磁気異方性はアニーリングにより開発し,X線回折測定により確認された結晶構造の改善と一致することが分かった。結果は,CFAベースの磁気電子素子の設計のためのいくつかの有用な情報を提供する。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *合金 ,  角度依存性 ,  一軸磁気異方性 ,  磁気異方性 ,  *焼なまし ,  膜厚 ,  垂直磁気異方性 ,  酸化マグネシウム ,  結晶構造 ,  *磁気 ,  飽和磁化 ,  界面 ,  磁気測定 ,  X線回折
準シソーラス用語： 電子素子 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Co_2FeAl膜 ,  アニーリング効果 ,  磁気的性質 ,  界面垂直磁気異方性 ,  面内異方性

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (3件)： 磁気的性質 ,  アニーリング ,  厚さ