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J-GLOBAL ID:201802231983260128   整理番号:18A0442546

遅波モードにおけるGS TSVの電気特性【Powered by NICT】

Electrical characteristics of GS-TSV in slow wave mode
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: EDAPS  ページ: 1-3  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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遅波モードにおける信号基底シリコン貫通ビア(GS TSV)の電気的特性を,マイクロ波理論に従って解析し,ADSソフトウェアによってシミュレートした。結果は,TSVの半径,伝送特性はよりよくなっていることを示したが,TSVの高さの増加と共に,TSVの伝送特性は0~15GHzの範囲内で悪かった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  半導体集積回路 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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