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J-GLOBAL ID:201802232033011532   整理番号:18A1859021

レーザ化学蒸着による電気伝導性グラフェン/SiC(111)複合材料被覆【JST・京大機械翻訳】

Electrically conducting graphene/SiC(111) composite coatings by laser chemical vapor deposition
著者 (11件):
資料名:
巻: 139  ページ: 76-84  発行年: 2018年 
JST資料番号: H0270B  ISSN: 0008-6223  CODEN: CRBNA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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〈111〉配向を有するグラフェン/SiC(G/SiC)複合材料被覆を,レーザ化学蒸着(LCVD)により前駆体としてヘキサメチルジシラン(HMDS)を用いてその場蒸着した。SiCマトリックス中のグラフェンシートの濃度と分布を,反応チャンバー中の全圧(P_tot)を変化させることによって制御した。成長機構の研究は,レーザプライドの光分解が蒸着中に重要な役割を果たすことを示した。高分解能透過型電子顕微鏡(HRTEM)による観察は,グラフェンがSiC(111)格子面上に核形成することを明らかにした。P_totの増加とともに,グラフェンの濃度は減少し,SiC粒子とグラフェンシートの粒径は増加した。SiCマトリックス中のグラフェンの分布は複合被覆の電気伝導率(σ)に著しく影響した。最も高いσは,他の戦略で作製したグラフェン/半導体複合材料のそれよりも2桁以上大きい。高いσはG/SiC(111)複合材料コーティングを機械的,エネルギー的およびセンサ関連領域における応用に非常に有望である。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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炭素とその化合物 
タイトルに関連する用語 (5件):
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