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J-GLOBAL ID：201802232208245119   整理番号：18A1237786

透過電子顕微鏡用の二次電子(SE)エネルギーアナライザの開発

Development of a secondary electron energy analyzer for a transmission electron microscope

著者 (8件)： MAGARA Hideyuki (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TOMITA Takeshi (JEOL Ltd., Akishima, JPN) ,  KONDO Yukihito (JEOL Ltd., Akishima, JPN) ,  SATO Takafumi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  AKASE Zentaro (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  AKASE Zentaro (RIKEN, Saitama, JPN) ,  SHINDO Daisuke (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SHINDO Daisuke (RIKEN, Saitama, JPN)
資料名： Microscopy  (Microscopy)
巻： 67  号： 2  ページ： 121-124  発行年： 2018年04月 
JST資料番号： W1384A  ISSN： 2050-5698  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・本研究では,透過電子顕微鏡用のSEアナライザを開発した。
・試料から放出されたSEを測定し,帯電現象に関連してアナライザーシステムの構造と性能を報告。
・Auの表面には自然酸化膜が形成されないため,試料としてAuを使用。
・Au試料に電圧を印加して試料の非帯電状態と帯電状態を比較することにより,意図的に帯電状態を導入。
・メッシュバイアス電圧に亘って積分されたSEスペクトルから300kVのTEMにより,SEの大部分は20eV以下のエネルギー範囲にあることが判明。
・バイアス電圧を用いたAu試料の周りのSEのエネルギー分布の変化も判明。

シソーラス用語： *透過型電子顕微鏡 ,  *電子 ,  *分析機器 ,  *帯電 ,  *金 ,  酸化膜 ,  エネルギー分布 ,  *二次電子 ,  自然酸化膜 ,  化成皮膜

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  Auger電子放出,二次電子放出  (BM09040O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 透過電子顕微鏡 ,  二次電子 ,  Se ,  エネルギー ,  アナライザ ,  開発