Design and Electro-Thermo-Mechanical Behavior Analysis of Au/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub> Bimorph Microcantilevers for Static Mode Sensing

文献

J-GLOBAL ID：201802232836814191 整理番号：18A0251721

Design and Electro-Thermo-Mechanical Behavior Analysis of Au/Si₃N₄ Bimorph Microcantilevers for Static Mode Sensing

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資料名：
巻： 17 号： 11 ページ： WEB ONLY 発行年： 2017年11月
JST資料番号： U7015A ISSN： 1424-8220 CODEN： SENSC9 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：スイス (CHE) 言語：英語 (EN)

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