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J-GLOBAL ID：201802232968585412   整理番号：18A0655806

ローレンツ力に基づくMEMS磁気センサの研究進展【JST・京大機械翻訳】

Research Progress of MEMS Magnetic Field Sensors Used in Lorentz Force-based

著者 (7件)： Zhang Yunqi (長春理工大学光電信息学院,吉林長春,130012) ,  Zhang Jingbo (長春理工大学光電信息学院,吉林長春,130012) ,  Xing Chunxiang (長春理工大学光電信息学院,吉林長春,130012) ,  Sun Xiaobing (長春理工大学光電信息学院,吉林長春,130012) ,  Hu Daqiang (集成光電子学国家重点実験室,吉林大学電子科学与工程学院,吉林長春 130012) ,  Yin Jingzhi (集成光電子学国家重点実験室,吉林大学電子科学与工程学院,吉林長春 130012) ,  Chen Xinqi (中国電子科技集団公司第四十九研究所,黒竜江哈爾浜,150001)
資料名： Yibiao Jishu yu Chuanganqi  (Yibiao Jishu yu Chuanganqi)
号： 11  ページ： 1-5,24  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2449A  ISSN： 1002-1841  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 本文では、MEMS磁気センサの製作過程における主な設計パラメータ、デバイスの調製技術について紹介し、ローレンツ力に基づく各種構造MEMS磁気センサの感度、品質因子、ノイズと検出限界などの特性をまとめ、将来の発展について展望した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 雑音 ,  *MEMS ,  生産工程 ,  *磁気センサ ,  *Lorentz力 ,  検出限界
準シソーラス用語： 品質因子 ,  設計変数 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS magnetic sensor ,  design and preparation process of the device ,  sensitivity ,  detection limit ,  Lorentz

分類 (2件)： 電磁石  (NA05080G) ,  電磁場中の粒子の運動及び放射  (BD01030Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： ローレンツ力 ,  MEMS ,  磁気センサ ,  研究 ,  進展