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J-GLOBAL ID：201802233047011103   整理番号：18A0165195

ダイレベル包装3軸MEMSジャイロスコープ性能の熱機械的シミュレーション【Powered by NICT】

Thermo-mechanical simulation of die-level packaged 3-axis MEMS gyroscope performance

著者 (4件)： Parent A. (Coventor SARL, 3 avenue du Quebec, 91140 Villebon-sur-Yvette, France) ,  Welham C. J. (Coventor SARL, 3 avenue du Quebec, 91140 Villebon-sur-Yvette, France) ,  Piirainen T. (Murata Electronics Oy Myllynkivenkuja 6, 01621 Vantaa, Finland) ,  Blomqvist A. (Murata Electronics Oy Myllynkivenkuja 6, 01621 Vantaa, Finland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ISS  ページ： 1-10  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,MEMSジャイロセンサの正確な熱機械的シミュレーション,そのダイレベルパッケージを示した。モデル,シミュレーションツール,方法論と結果を提示した。興味のあるモード(駆動と3感覚モード)とセンスキャパシタンスのシフトの共鳴周波数シフトをシミュレートし,実験結果と比較した。シミュレーション結果と良く一致した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *シミュレーション ,  共振周波数 ,  *MEMS
準シソーラス用語： シミュレーションツール ,  ジャイロセンサ ,  *MEMSジャイロスコープ ,  *三軸 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 包装 ,  3軸 ,  MEMSジャイロスコープ ,  シミュレーション