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J-GLOBAL ID：201802233400985428   整理番号：18A1904997

電界放出駆動Townsend放電領域における電子エネルギー分布関数と速度係数【JST・京大機械翻訳】

Electron Energy Distribution Function and Rate Coefficients in Field Emission-Driven Townsend Discharge Regime*

著者 (2件)： Tan Xi (University of Notre Dame, Notre Dame, Indiana, 46556, USA) ,  Go David B. (University of Notre Dame, Notre Dame, Indiana, 46556, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ICOPS  ページ： 1  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子エネルギー分布関数(EEDF)と種々の衝突に対する速度係数は,プラズマとプラズマ化学プロセスの基本的な挙動を理解するために不可欠である。一般的に,EEDFと速度係数を計算し,還元電場のパラメータに基づいて測定した。本論文では,電界放出駆動Townsend放電領域における直流マイクロプラズマのための一次元速度論的および解析的モデルを開発した。結果は,平均自由行程が放電の特性長さと同程度であるとき,EEDFは,Maxwell様挙動を反映する高衝突成分と非衝突,弾道成分の2つの成分から成ることを示した。前者は還元電場に依存し,後者は印加電圧の関数のみであった。これは,縮小場に基づく従来のスケーリングを破り,電界放出駆動Townsend放電領域における新しいスケーリングを提供し,小規模でプラズマ駆動化学を制御する新しい可能性を提供する。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 速度論 ,  一次元 ,  *電界放出 ,  直流 ,  プラズマ ,  電場 ,  小規模 ,  平均自由行程
準シソーラス用語： 印加電圧 ,  マイクロプラズマ ,  プラズマ化学 ,  EEDF ,  *Townsend放電 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電界放出 ,  Townsend放電 ,  電子エネルギー分布関数