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J-GLOBAL ID：201802233840537204   整理番号：18A0207598

CCD紫外強化薄膜スピンコーティングプロセスの最適化【JST・京大機械翻訳】

Process Optimization of CCD UV-Responsive Sensitivity Enhancement by Spin-Coating

著者 (5件)： Feng Yuxiang (中国科学院長春光学精密机械与物理研究所応用光学国家重点実験室,吉林 長春 130033;長春理工大学光電工程学院,吉林 長春 130033) ,  Meng Yinxia (長春理工大学光電工程学院,吉林 長春,130033) ,  Zhang Guoyu (長春理工大学光電工程学院,吉林 長春,130033) ,  Wu Yihui (中国科学院長春光学精密机械与物理研究所応用光学国家重点実験室,吉林 長春,130033) ,  Hao Peng (中国科学院長春光学精密机械与物理研究所応用光学国家重点実験室,吉林 長春,130033)
資料名： Guangpuxue yu Guangpu Fenxi  (Guangpuxue yu Guangpu Fenxi)
巻： 37  号： 9  ページ： 2826-2831  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2093A  ISSN： 1000-0593  CODEN： GYGFED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： シリコンベースの検出器の入射窓上に蛍光を変換することによって薄膜を調製することは、コストを効果的に下げる紫外蛍光増強技術である。紫外蛍光薄膜のスピンコーティングプロセスパラメータと性能の間の関係を理論的に検討し,紫外蛍光膜のスペクトル解析に用いる性能試験プラットフォームを構築した。紫外蛍光増強膜のスピンコーティングプロセスパラメータの質量比とスピンコーティングの回転速度を最適化した。スペクトル分析の検出器には二つの主要な指標、スペクトル応答感度とスペクトル分解能があり、分析と実験結果により、スピンコーティング法により紫外増強蛍光薄膜を作製し、スピンコーティングの回転速度は薄膜の厚さ、表面粗さと蛍光物質の分布に直接影響し、スペクトル分析システムの分解能に影響を与えることが分かった。紫外蛍光増強膜の増強効率は,蛍光物質の黄色顔料101の質量比と密接に関連し,低い質量比は,UV応答効率を改善することができないが,高い質量比では,蛍光物質は凝集状態で自己消光した。それは,薄膜のUV応答効率を強化するのに不利である。最終的に,膜のスピンコーティングプロセスの最適化に基づいて,スピンコーティングの回転速度は2500~3000r min-1であり,蛍光物質と蛍光溶媒の質量比は7であった。100の紫外蛍光増強膜を調製した。水銀ランプの特性スペクトルの測定結果によると、この薄膜の313nm紫外波長の探測応答感度は1.6倍ぐらい向上し、めっき前後の特徴スペクトルの半波帯域幅を比較分析すると、紫外線増強蛍光薄膜をめっきすることはその影響が小さい。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： スペクトル ,  蛍光体 ,  蛍光 ,  回転数 ,  スペクトル解析 ,  分光分析 ,  *スピンコーティング ,  波長 ,  紫外線 ,  分解能 ,  検出器 ,  凝集 ,  *最適化 ,  *薄膜
準シソーラス用語： 蛍光増強 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： UV-enhance ,  Spin-coating ,  Fluorescent Films ,  Process Optimization

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (6件)： CCD ,  強化 ,  薄膜 ,  スピンコーティング ,  プロセス ,  最適化