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J-GLOBAL ID：201802234034388874   整理番号：18A1209233

ポリイミドセンシング層を用いたプレートアレイ構造を有するMEMS容量性湿度センサ【JST・京大機械翻訳】

MEMS capacitive humidity sensor with plate array structure using polyimide sensing layer

著者 (3件)： Vijapur Pavankumar R (Dept of ECE, R V College of Engineering, Bangalore, India.) ,  Karbari Sudha R (Dept of ECE, R V College of Engineering, Bangalore, India.) ,  Shireesha G (Dept of Physics.)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CCUBE  ページ： 54-59  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS湿度センサの構造を基板材料としてシリコンを用いて開発した。提案した湿度センサは,水蒸気の吸収/脱着のために起こるポリイミドの誘電率の変化の原理について研究した。湿度センサの出力は20~90%の範囲の相対湿度に直線的に依存することが観察された。このセンサの感度は,%RHに対して0.04fF%RHに対して,0.04fFに対して0.13の範囲であることを示している。モデリングとシミュレーションを,マイクロプレートアレイ間の最小距離,プレートの数,および解析用プレートの幅に従って,圧力の異なる入力値のパラメータを用いて実行した。このモデルを用いて高分子中の水拡散率を観察するために,ポリイミド層はFickの法則とHenry則に基づいている。したがって,応力,変位および表面解析の観点から,容量性センサのパラメトリック最適化のために拡張することができた。本論文では,容量原理上で動作する湿度センサを実装した。センサは,高感度ポリイミド層上の板アレイから構成されている。ポリイミド層は上部電極アレイと底部酸化物層の間に挟まれている。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 相対湿度 ,  Fickの法則 ,  拡散係数 ,  モデリング ,  モデル ,  高感度 ,  *MEMS ,  *湿度センサ ,  *センサ ,  誘電率 ,  脱着 ,  ケイ素 ,  *ポリイミド
準シソーラス用語： 電極アレイ ,  最小距離 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 湿度測定,湿度計  (AD06020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： アレイ ,  MEMS ,  容量性 ,  湿度センサ