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J-GLOBAL ID:201802234185478492   整理番号:18A1510579

音響波を用いた銀(Ag)焼結継手における多孔性の非破壊評価【JST・京大機械翻訳】

Non-destructive Assessment of the Porosity in Silver (Ag) Sinter Joints Using Acoustic Waves
著者 (8件):
資料名:
巻: 2018  号: ECTC  ページ: 1863-1870  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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帯域幅に関するその優れた性能により,GaNまたはSiCのような電力損失および形状因子化合物半導体は,半導体産業,特に高出力セグメントにおける応用のために,最近移動した。これらの改善された性能パラメータは,電力密度の増加に伴って進行し,従って,パッケージの特別に最適化された熱的概念を必要とする。ダイ付着プロセスとしてのAg焼結は,熱伝導率に関するはんだ付け技術の有望な代替法として広く受け入れられている。しかし,焼結層の熱的および機械的挙動は,ボイド,介在物および層間剥離の存在に関してミクロおよび巨視的スケールでのその組成によって影響されるが,空隙率の部分的な含有量にも影響される。走査音響顕微鏡(SAM)は,試料材料の機械的性質と相互作用する音波を使用し,微小電子部品におけるボイド,介在物および層間剥離の非破壊検出のために広く確立されている。本論文では,新しいパワー半導体デバイスのための誘電体付着技術をターゲットとした焼結Ag層の気孔率の評価と特性化のための方法としてSAMの可能性を調べた。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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