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J-GLOBAL ID：201802234399360623   整理番号：18A1253631

高温高感度AlN-on-SOI Lamb波共振歪センサ【JST・京大機械翻訳】

High-temperature high-sensitivity AlN-on-SOI Lamb wave resonant strain sensor

著者 (9件)： Dou Shaoxu (Key Laboratory of Optoelectronic Technology & Systems, Ministry of Education and International R & D Center of Micro-Nano Systems and New Materials Technology, Chongqing University, Chongqing 400044, China) ,  Qi Mengke (Key Laboratory of Optoelectronic Technology & Systems, Ministry of Education and International R & D Center of Micro-Nano Systems and New Materials Technology, Chongqing University, Chongqing 400044, China) ,  Chen Cong (Key Laboratory of Optoelectronic Technology & Systems, Ministry of Education and International R & D Center of Micro-Nano Systems and New Materials Technology, Chongqing University, Chongqing 400044, China) ,  Zhou Hong (Key Laboratory of Optoelectronic Technology & Systems, Ministry of Education and International R & D Center of Micro-Nano Systems and New Materials Technology, Chongqing University, Chongqing 400044, China) ,  Wang Yong (IHP - Innovations for High Performance Microelectronics, Leibniz Association, Frankfurt (Oder) 15236, Germany) ,  Shang Zhengguo (Key Laboratory of Optoelectronic Technology & Systems, Ministry of Education and International R & D Center of Micro-Nano Systems and New Materials Technology, Chongqing University, Chongqing 400044, China) ,  Yang Jing (Chongqing Acoustic-Optic-Electric Co. Ltd., China Electronic Technology Group Corp., Chongqing 400060, China) ,  Wang Dengpan (Chongqing Acoustic-Optic-Electric Co. Ltd., China Electronic Technology Group Corp., Chongqing 400060, China) ,  Mu Xiaojing (Key Laboratory of Optoelectronic Technology & Systems, Ministry of Education and International R & D Center of Micro-Nano Systems and New Materials Technology, Chongqing University, Chongqing 400044, China)
資料名： AIP Advances (Web)  (AIP Advances (Web))
巻： 8  号： 6  ページ： 065315-065315-7  発行年： 2018年 
JST資料番号： U7121A  ISSN： 2158-3226  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 圧電AlN-on-SOI構造化MEMSLamb波共振器(LWR)を高温歪測定用に提示した。LWRは厚さ1μmのAlN膜と厚さ30μmのSi層の複合膜を有している。励起音波はRayleigh波とLamb波を含む。一軸引張板に取り付けた一つのLWRを用いて引張歪センサを作製し,その温度特性を15.4°Cから250°Cまでの温度特性およびRayleigh波とS_4モードLamb波の0μεから400μεまでの引張歪挙動を試験した。温度試験は250°Cまでの温度に対する引張歪センサの適応性を検証し,S_4モードLamb波とRayleigh波はほとんど同じ温度特性を表す。歪試験により,S_4モードLamb波はRayleigh波(0.05ppm/με)よりもはるかに高い歪感度(-0.48ppm/με)を示し,歪感度の利点を確認した。最後に,この1-LWR歪センサに対して,S_4モードLamb波とRayleigh波の間のビート周波数の方法を,温度補償と高感度歪読出しのために提案した。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 励起 ,  周波数 ,  圧電気 ,  *Lamb波 ,  *高温 ,  *共振 ,  歪測定 ,  複合膜 ,  *窒化アルミニウム ,  引張 ,  温度補償 ,  Rayleigh波 ,  共振器
準シソーラス用語： 引張歪 ,  *歪センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高感度 ,  AlN ,  SOI ,  Lamb波 ,  共振 ,  歪センサ