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J-GLOBAL ID：201802234509367238   整理番号：18A1330589

リモート酸素プラズマを用いて形成されたGa酸化物/GaN界面のエネルギーバンド構造と電気特性

Energy band structure and electrical properties of Ga-oxide/GaN interface formed by remote oxygen plasma

著者 (16件)： YAMAMOTO Taishi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YAMAMOTO Taishi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  TAOKA Noriyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  OHTA Akio (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TRUYEN Nguyen Xuan (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TRUYEN Nguyen Xuan (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  YAMADA Hisashi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  TAKAHASHI Tokio (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  IKEDA Mitsuhisa (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MAKIHARA Katsunori (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  NAKATSUKA Osamu (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SHIMIZU Mitsuaki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  SHIMIZU Mitsuaki (Nagoya Univ. Inst. of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya, JPN) ,  MIYAZAKI Seiichi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MIYAZAKI Seiichi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  MIYAZAKI Seiichi (Nagoya Univ. Inst. of Materials and Systems for Sustainability (IMaSS), Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 57  号： 6S3  ページ： 06KA05.1-06KA05.5  発行年： 2018年06月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *プラズマ生成 ,  *プラズマ ,  *酸化ガリウム ,  *窒化ガリウム ,  *界面 ,  *バンド構造 ,  X線光電子分光法 ,  結合エネルギー ,  容量電圧特性 ,  電荷 ,  *酸素プラズマ ,  表面バンド構造 ,  固定電荷 ,  *リモートプラズマ生成
準シソーラス用語： *リモートプラズマ

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  界面の電気的性質一般  (BM03081H)

引用文献 (30件)：

• H. Okumura, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 7565 (2006).
• T. Kachi, Jpn. J. Appl. Phys. 53, 100210 (2014).
• D. S. Lee, Z. Liu, and T. Palacios, Jpn. J. Appl. Phys. 53, 100212 (2014).
• T. Ueda, M. Ishida, T. Tanaka, and D. Ueda, Jpn. J. Appl. Phys. 53, 100214 (2014).
• W. Saito, I. Omura, T. Ogura, and H. Ohashi, Solid-State Electron. 48, 1555 (2004).

タイトルに関連する用語 (7件)： 酸素プラズマ ,  Ga酸化物 ,  GaN ,  界面 ,  エネルギー ,  バンド構造 ,  電気特性