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J-GLOBAL ID：201802234583769263   整理番号：18A0483544

マグネトロンスパッタリングにより作製したTi/ZnO/LiPON/LiMn_2O_4/Ti構造を用いた全固体状態薄膜リチウムイオン電池【Powered by NICT】

All solid-state thin-film lithium-ion battery with Ti/ZnO/LiPON/LiMn₂O₄/Ti structure fabricated by magnetron sputtering

著者 (6件)： Li Lin (Institute of Microelectronics, School of Physical Science and Technology, Lanzhou University, NO. 222, South Tianshui Road, Lanzhou, Gansu Province 730000, PR China) ,  Li Lin (National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Technology and Physics, Lanzhou Institute of Physics, P.O. BOX 94, Lanzhou, Gansu Province 730000, PR China) ,  Liu Su (Institute of Microelectronics, School of Physical Science and Technology, Lanzhou University, NO. 222, South Tianshui Road, Lanzhou, Gansu Province 730000, PR China) ,  Zhou Hui (National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Technology and Physics, Lanzhou Institute of Physics, P.O. BOX 94, Lanzhou, Gansu Province 730000, PR China) ,  Lei Qi (Institute of Microelectronics, School of Physical Science and Technology, Lanzhou University, NO. 222, South Tianshui Road, Lanzhou, Gansu Province 730000, PR China) ,  Qian Kun (Institute of Microelectronics, School of Physical Science and Technology, Lanzhou University, NO. 222, South Tianshui Road, Lanzhou, Gansu Province 730000, PR China)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 216  ページ： 135-138  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti/ZnO/LiPON/LiMn_2O_4/Ti構造を有する全固体薄膜リチウムイオン電池は熱処理なしにマグネトロンスパッタリングによりガラス基板上に堆積することに成功した。LiPON膜の保護により,結晶ZnO,非晶質LiPONとLiMn_2O_4,Ti膜によって形成された電池は,室温で空気中で5μA/cm~2の電流密度で0.5と5Vの間で22μAh/cm~2の安定した可逆容量を示した。細胞の微細構造と相構造をXRD,SEM及びRaman分光法で特性化した。良好な電気性能は,低温基板材料と電池スタックへの低電力薄膜電池への応用に有用であることを明らかにしている。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *電池 ,  非晶質 ,  *リチウムイオン電池 ,  微細構造 ,  電気特性 ,  *酸化亜鉛 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  電流密度 ,  X線回折 ,  *薄膜 ,  Raman分光法
準シソーラス用語： 薄膜電池 ,  *LiPON ,  ガラス基板 ,  *全固体 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： リチウムイオン電池固体薄膜 ,  スパッタリング ,  結晶ZnO膜 ,  非晶質LiMn_2O_4膜 ,  電気的性質 ,  エネルギー貯蔵および変換

分類 (1件)： 二次電池  (YB04030K)

タイトルに関連する用語 (8件)： マグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  Ti ,  ZnO ,  LiPON ,  固体状態 ,  薄膜 ,  リチウムイオン電池