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J-GLOBAL ID:201802234707415604   整理番号:18A0138027

高温表面音響波応用のための圧電基板としての化学量論的ニオブ酸リチウムに関する最初の研究【Powered by NICT】

First investigations on stoichiometric lithium niobate as piezoelectric substrate for high-temperature surface acoustic waves applications
著者 (9件):
資料名:
巻: 2017  号: ICSENS  ページ: 1-3  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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表面音響波(SAW)技術である高温無線センサを達成するために非常に有望である。しかし,現在高い電気機械結合係数(K~2>1%)を持つ圧電基板の必要性,過酷な環境下で運営され,特に中間温度範囲(300-600°C)することができた。従来SAW基板のいずれも,この課題に直面していることができない。特に,K~2は5%を超えることができ,調和融解ニオブ酸リチウムは300°C,主にLi空格子点に関連したからの重大な限界を示した。最近の研究は,高温バルク音響波に対する化学量論的ニオブ酸リチウム(s LN)応用の可能性を実証した。本論文では,高温SAWアプリケーションのためのこの圧電材料を調べた。特に,s-LN表面は高温曝露中に受けることができる潜在的な構造的および化学的変化を注意深く調べた。最後に,s-LN基板に基づくSAW共振器はその場600°Cまで特性化した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
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弾性表面波デバイス  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
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