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J-GLOBAL ID：201802235229907906   整理番号：18A0770457

PVAスポンジ-固体材料間の摩擦特性の表面自由エネルギーによる評価

著者 (5件)： 倉下将光 (荏原製作所) ,  伊藤雅佳 (静岡大) ,  福永明 (荏原製作所) ,  真田俊之 (静岡大) ,  高東智佳子 (荏原製作所)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2018  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.H31  発行年： 2018年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： CMP洗浄メカニズムの重要な要素だと考えられる摩擦現象を材料界面の相互作用から評価する場合,一般的な表面物性であるぬれ性だけでは評価しきれない部分がある。そこで,固体間の密着力評価に用いられる表面自由エネルギーを用いて摩擦を評価することを考えた。本研究では高分子やガラスなどの固体材料とPVAスポンジとの液中における摩擦力を様々な条件で計測し,それぞれが持つ表面自由エネルギーによる摩擦特性の考察を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *半導体素子 ,  ポリビニルアルコール ,  多孔質体 ,  *摩擦力 ,  *化学機械研磨
準シソーラス用語： CMP【化学研磨】 ,  PVA【重合体】 ,  スポンジ ,  *半導体デバイス ,  *表面自由エネルギー

分類 (2件)： その他の表面処理  (WC08070F) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： スポンジ ,  固体材料 ,  摩擦特性 ,  表面自由エネルギー ,  評価