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J-GLOBAL ID：201802235577933149   整理番号：18A0132514

集積格子結合器を用いたスコッチテープ導波路に基づく偏向光センサ【Powered by NICT】

A deflection optical sensor based on a Scotch tape waveguide with an integrated grating coupler

著者 (2件)： Barrios Carlos Angulo (Instituto de Sistemas Optoelectronicos y Microtecnologia (ISOM), ETSI Telecomunicacion, Universidad Politecnica de Madrid, Ciudad Universitaria s/n, 28040 Madrid, Spain) ,  Barrios Carlos Angulo (Department of Photonics and Bioengineering, ETSI Telecomunicacion, Universidad Politecnica de Madrid, Ciudad Universitaria s/n, 28040 Madrid, Spain)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 269  ページ： 500-504  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラスチック導波路片持梁に基づく偏向センサを提示し,実証した。導波路カンチレバーは,従来の接着テープでできており,その偏向終了時に金属格子結合器を統合した。格子に衝突する光はテープ導波路への結合と導波路の反対端が固定された固定光検出器に導かれる。フォトダイオードは,カンチレバー支持体として作用し,光電流(センサ応答)への導波光出力に変換する。偏向光学的モニタリングは,カンチレバーたわみの関数として格子結合器を持つ入射光ビームスポットの重なりの変化に依存している。このアプローチは,入射角と格子結合効率の変化に基づく方法によって得られるものよりも大きい偏向感度をもたらした。14.85mm長さの片持梁センサを作製し,0.2μA/μmの最大たわみの感度と1.7μmの分解能を有する線形動作範囲2~年間のを示し,インタロゲーション光源雑音により制限された。雑音解析はサブナノメータたわみ分解能の実現可能性を示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 分解能 ,  雑音解析 ,  線形性 ,  プラスチック ,  片持梁 ,  *光センサ ,  フォトダイオード ,  光検出器 ,  入射角 ,  *導波路 ,  *偏向 ,  たわみ ,  光源 ,  雑音
準シソーラス用語： *格子結合器 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： たわみセンサ ,  導波路カンチレバー ,  格子結合器 ,  高分子導波路

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (6件)： 集積 ,  格子結合器 ,  テープ ,  導波路 ,  偏向 ,  光センサ