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J-GLOBAL ID：201802236029040756   整理番号：18A1998847

異なる厚いスパッタしたタングステン膜の硫化を用いて調製したWS_2の構造的および光学的性質【JST・京大機械翻訳】

Structural and optical properties of WS₂ prepared using sulfurization of different thick sputtered tungsten films

著者 (9件)： Hotovy I. (Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Spiess L. (Institut fuer Mikro- und Nanotechnologien, Technische Universitaet Ilmenau, Gustav-Kirchhoff Str. 5, D-98693 Ilmenau, Germany) ,  Sojkova M. (Institute of Electrical Engineering, SAS, Dubravska cesta 9, 841 04 Bratislava, Slovakia) ,  Kostic I. (Institute of Informatics, Slovak Academy of Sciences, Dubravska cesta 9, 845 07 Bratislava, Slovakia) ,  Mikolasek M. (Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Predanocy M. (Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia) ,  Romanus H. (Institut fuer Mikro- und Nanotechnologien, Technische Universitaet Ilmenau, Gustav-Kirchhoff Str. 5, D-98693 Ilmenau, Germany) ,  Hulman M. (Institute of Electrical Engineering, SAS, Dubravska cesta 9, 841 04 Bratislava, Slovakia) ,  Rehacek V. (Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 461  ページ： 133-138  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らの活性は,異なる厚いスパッタW膜の硫化によるサファイア基板上のWS_2膜の調製に焦点を合わせた。WS_2の構造的,形態的,光学的性質に及ぼす4nmから12nmの範囲の非常に薄いW膜の影響を研究した。XRD測定は,六方晶系対称性を有する多結晶性と,全てのWS_2膜に対して約6nmの結晶粒サイズを有するランダムに結合したナノ結晶を明らかにした。532nmレーザ励起によるRaman分光法を用いて,特性E1_2gおよびA_1g振動モードの存在を記録し,調製したWS_2膜の多層性を確認した。FESEM観察により,WS_2微結晶の基底面を有するランダムに配向したラメラ状およびフレーク状の微細構造が明らかになった。より薄いWS_2膜(20と24nm)は高度に緻密な水平整列フレークを示した。他方,より厚いWS_2膜(33と42nm)は粒状表面を示し,WS_2微結晶は基板表面に垂直に成長した。全ての調べたWS_2膜は500~900nmのスペクトル範囲で30~78%の透明性を示し,2.3eVの直接バンドギャップを示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 微細構造 ,  レーザ励起 ,  スペクトル ,  アラインメント ,  微結晶 ,  多結晶 ,  X線回折 ,  結晶粒径 ,  ナノ結晶 ,  振動モード ,  形態 ,  *硫化 ,  多層
準シソーラス用語： 直接バンドギャップ ,  透明性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 遷移金属ジカルコゲナイド ,  WS2 ,  薄膜 ,  硫化 ,  直接バンドギャップ

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッタ ,  タングステン ,  硫化 ,  調製 ,  光学的性質