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J-GLOBAL ID：201802236060982920   整理番号：18A0673088

シーム式MEMS加速度計の振動整流誤差【JST・京大機械翻訳】

Vibration rectification error of the see-saw type MEMS accelerometer

著者 (6件)： Xiao Peng (西北工業大学自動化学院,西安710072;西安飛行自動控制研究所,西安710065) ,  Sun Guoliang (西安飛行自動控制研究所,西安,710065) ,  Liu Lin (西北工業大学自動化学院,西安,710072) ,  Wang Xiaobin (西安飛行自動控制研究所,西安,710065) ,  Sun Junjie (西安飛行自動控制研究所,西安,710065) ,  Yu Caijia (西安飛行自動控制研究所,西安,710065)
資料名： Zhongguo Guanxing Jishu Xuebao  (Zhongguo Guanxing Jishu Xuebao)
巻： 25  号： 5  ページ： 690-694  発行年： 2017年 
JST資料番号： C2764A  ISSN： 1005-6734  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： MEMS加速度計は,その低い体積,低コスト,高信頼性,および大量生産の優位性のため,戦術的精度の兵器分野で広く使用されている。しかし、振動環境下での出力誤差(振動整流誤差)は、そのガイドレベルの精度発展の主な指標のボトルネックとなっている。MEMS加速度計の振動整流誤差を減少させるために,センサチップ構造の非対称性と回路零点誤差によって引き起こされるトルク構造の非線形性を理論的に分析し,次に,振動法に基づく非線形の方法を用いて,システム誤差モデルをシミュレーションした。各誤差源と加速度計の非線形係数間の影響関係を確定した。最後に,主な誤差源(回路零点)の最適化前後のMEMS加速度計の振動整流誤差と非線形係数に対してテストを行い,結果を比較した。最適化の後に,50~1500Hzの周波数範囲におけるMEMS加速度計の二次非線形性の最大値は,1E-4g/g2から5E-6g/gに減少した。Data from Wanfang. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 零点 ,  大量生産 ,  *MEMS ,  兵器 ,  最適化 ,  *整流 ,  非対称性 ,  トルク ,  非線形性 ,  *加速度計 ,  周波数
準シソーラス用語： センサチップ ,  戦術 ,  高信頼性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： MEMS accelerometer ,  vibration rectification error ,  nonlinearity ,  closed loop position

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： シーム ,  MEMS ,  加速度計 ,  整流 ,  誤差