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J-GLOBAL ID：201802236309658023   整理番号：18A1818098

圧電セラミックマイクロ変位の光干渉測定と制御システム【JST・京大機械翻訳】

Optical Interference Measurement and Control System of Piezoelectric Ceramic Micro-Displacement

著者 (6件)： Qi Yanqiang (太原理工大学 物理与光電工程学院,太原,030024) ,  Zhao Xiaodan (太原理工大学 物理与光電工程学院,太原,030024) ,  Li Mengyang (太原理工大学 物理与光電工程学院,太原,030024) ,  Zhang Mingda (太原理工大学 物理与光電工程学院,太原 030024;太原理工大学 新型伝感器与智能控制教育部重点実験室,太原 030024) ,  Chen Zhihui (太原理工大学 物理与光電工程学院,太原 030024;太原理工大学 新型伝感器与智能控制教育部重点実験室,太原 030024) ,  Yang Yibiao (太原理工大学 物理与光電工程学院,太原 030024;太原理工大学 新型伝感器与智能控制教育部重点実験室,太原 030024)
資料名： Taiyuan Ligong Daxue Xuebao  (Taiyuan Ligong Daxue Xuebao)
巻： 49  号： 4  ページ： 612-616  発行年： 2018年 
JST資料番号： C2209A  ISSN： 1007-9432  CODEN： TLDXF3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 圧電セラミックの微小変位検出に対して、多重反射に基づく光路増幅装置を導入し、Michelson干渉測定の分解能を有効に向上させた。増幅倍率,入射角とミラー角度の関係を理論的に解析し,光路の光学増幅特性をシミュレーションした。高精度光干渉変位測定システムを,22.6nmのステップサイズの駆動と検出のために実現した。この装置の構造は単純で、制御しやすく、光学フィルターシステムの精確な同調に応用できる。Data from Wanfang. Translated by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 分解能 ,  *圧電セラミック ,  *干渉測定 ,  *制御系 ,  *光干渉 ,  光学フィルタ ,  増幅器 ,  多重反射 ,  入射角
準シソーラス用語： ステップサイズ ,  高精度 ,  増幅特性 ,  光路 ,  *微小変位 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 人工知能  (JE08000Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 圧電セラミック ,  マイクロ変位 ,  光干渉 ,  制御システム