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J-GLOBAL ID:201802236368368413   整理番号:18A1901395

修正繰返し制御によるLissajous軌道のための圧電チューブスキャナの運動制御【JST・京大機械翻訳】

Motion Control of the Piezoelectric Tube Scanner for Lissajous Trajectories with Modified Repetitive Control
著者 (3件):
資料名:
巻: 2018  号: MARSS  ページ: 1-6  発行年: 2018年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,ヒステリシス非線形性と交差カップリング効果によって誘起された周期的追跡誤差を排除する能力を有する,Lissajous軌道のための原子間力顕微鏡における圧電管スキャナの追跡性能を改善するために,修正反復制御(MRC)アプローチを開発した。Lissajous軌道とMRC技術の基本を最初に提示した。MRC方式のプラグイン特徴として,比例積分(PI)制御装置を,高精度運動制御を実現するためのフィードバックループにおいて設計した。PI+MRCによるスキャナの追跡性能を,従来のPI制御装置と比較して,Lissajous軌道追跡のために開発した方法の有効性を示した。望ましいLissajous軌道と実際の走査軌道を,異なる制御戦略を持つスキャナに対して追加的に実証した。実験結果によると,MRCベース技術は追跡性能を著しく改善し,その中で,25Hzの走査周波数に対して,二乗平均二乗追跡誤差を4328nmから63.3nMに低減した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (3件):
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図形・画像処理一般  ,  医用画像処理  ,  NMR一般 

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