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J-GLOBAL ID：201802237027943640   整理番号：18A1354319

ミリ波周波数における精密プローブ法を用いた正確なオンウエハ測定の実現【JST・京大機械翻訳】

Realization of Accurate On-Wafer Measurement Using Precision Probing Technique at Millimeter-Wave Frequency

著者 (2件)： Sakamaki Ryo (Electromagnetic Measurement Group, Research Institute for Physical Measurement, National Metrology Institute of Japan, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Japan) ,  Horibe Masahiro (Electromagnetic Measurement Group, Research Institute for Physical Measurement, National Metrology Institute of Japan, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Tsukuba, Japan)
資料名： IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement  (IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement)
巻： 67  号： 8  ページ： 1940-1945  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0232A  ISSN： 0018-9456  CODEN： IEIMAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文はオンウエハ較正とデバイス評価手順に利用できる新しい測定技術を実証した。この技術により,完全RF信号検出の間の距離の反復可能な決定が実現できる。測定したSパラメータを解析し,プローブの起源座標を決定した。これらの手順は自動化されるので,プローブ位置のアラインメントと顕微鏡の分解能における演算子依存性は排除される。完全自動プローブステーションを構築し,この技術を実現するために特別なアラインメントパターンを持つインピーダンス標準基板(ISS)を製作した。二つのプローブの原点座標をアラインメントパターン上のある位置で決定した。プローブ間の距離における得られた変動は数μmであり,従来の手動プロービングにおけるものより少ない。測定再現性を,ISS上の整合伝送線路の測定Sパラメータの標準偏差を評価することにより調べた。提案した技術は,従来の手動プロービングのものと比較して,より低い標準偏差を示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アラインメント ,  インピーダンス ,  顕微鏡 ,  *プローブ ,  自動化 ,  標準偏差 ,  分解能 ,  再現性 ,  伝送線路 ,  *EHF波 ,  *周波数
準シソーラス用語： プロービング ,  Sパラメータ ,  RF信号 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 飛しょう体用電子航法  (ND14030K)

タイトルに関連する用語 (2件)： ミリ波 ,  プローブ