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J-GLOBAL ID：201802237241493347   整理番号：18A2083353

静電作動下の初期湾曲マイクロプレートの機械的挙動の研究【JST・京大機械翻訳】

An investigation of the mechanical behavior of initially curved microplates under electrostatic actuation

著者 (3件)： Saghir S. (4700 King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), Thuwal, Saudi Arabia) ,  Saghir S. (University of Management and Technology (UMT), Sialkot, Pakistan) ,  Younis M. I. (4700 King Abdullah University of Science and Technology (KAUST), Thuwal, Saudi Arabia)
資料名： Acta Mechanica  (Acta Mechanica)
巻： 229  号： 7  ページ： 2909-2922  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0344B  ISSN： 0001-5970  CODEN： AMHCAP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,静電作動下での最初に湾曲したマイクロプレートの機械的挙動を調べた。マイクロプレートは多くのマイクロ電気機械システムデバイスの必須要素である。しかし,それらは通常,微細加工プロセスにより,初期曲率不整を受ける。初期曲率不整はマイクロプレートの機械的挙動に著しく影響する。本研究では,そのような板に対するvon Karman支配方程式の動的アナログを導出した。次に,これらの方程式を用いて,マイクロプレートの静的および動的挙動をシミュレートするために,Galerkin法に基づく縮小次数モデルを開発した。微細加工された構造で一般的に遭遇する初期曲率の2つのプロファイルを考慮した。そこでは,板の寸法に沿った形状変化を仮定し,他方は板の寸法に沿った形状変化を仮定した。マイクロプレートの静的及び動的応答に及ぼすそれらの影響を調べ,比較した。計算した静的挙動と基本固有振動数を,初期板上昇の範囲にわたる有限要素モデルにより計算したものと比較することにより,縮小次数モデルを検証した。マイクロプレートの静的挙動をDC電圧を変えて調べた。次に,マイクロプレートの動的挙動をDC電圧に重畳した高調波AC電圧の適用下で調べた。Copyright 2018 Springer-Verlag GmbH Austria, part of Springer Nature Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 高調波 ,  直流電圧 ,  動的応答 ,  電気機械 ,  固有振動数 ,  微細加工 ,  アナログ系 ,  Galerkin法 ,  *曲率 ,  不整
準シソーラス用語： 次数 ,  動的挙動 ,  支配方程式 ,  *マイクロプレート ,  *湾曲 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 構造動力学  (HD02000E) ,  平板  (HD03060Z) ,  梁,桁  (HD03020H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 初期 ,  湾曲 ,  マイクロプレート ,  機械的挙動 ,  研究