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J-GLOBAL ID:201802237324201343   整理番号:18A1137488

Nb-Ti-O系からの二元および三元薄膜の光学的および半導体的性質【JST・京大機械翻訳】

Optical and semiconductive properties of binary and ternary thin films from the Nb-Ti-O system
著者 (4件):
資料名:
巻:ページ: 328-336  発行年: 2018年 
JST資料番号: W3368A  ISSN: 2211-3797  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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Nb,Ti,O元素に基づく二元TiO_2,Nb_2O_5及び三元Nb-Ti-O薄膜(半導体型)の物理化学的性質を決定するために,動電位電気化学インピーダンス分光法によるMott-Schottkyモデル取得に基づいて研究を行った。光学特性の研究に用いた技術は分光透過率のものであり,分光光度計を用いて測定を行った。インピーダンスデータの整合性をKramers-Kronig関係を計算することによって研究した。構造特性をXRDパターンによって分析した。すべての薄膜の化学組成測定をXPS技術を用いて行った。従って,本研究では,透過率値は,355nm付近の波長を有するNb_2O_5に対する72.74%からTi-Nb-Oに対する59.68%へ変化した。全ての膜に対する吸収係数は,355nm付近の波長を有するNb_2O_5から91240.90cm-1に対して,31823.87cm-1から91240.90cm-1まで分析され,65%の減少を示した。直接バンドギャップは,全ての膜において,Nb_2O_5に対する3.56eVから,Ti-Nb-Oに対する3.96eVへの光子エネルギー(バンドギャップEg)変化が,10%の減少を証明することを見出した。約355nmの波長を持つNb_2O_5に対する0.038cm-1からTi-Nb-O膜に対する0.277cm-1までのすべての膜において消光係数値は変化し,86%の増加を示した。最後に,Mott-Schottky分析により,参照電位(Ag/AgCl)は,62%の還元を示すTi-Nb-O材料に対して,Nb_2O_5に対する-2.09Vから-0.80Vまでの全ての膜に対して変化することが観察された。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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酸化物薄膜 
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