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J-GLOBAL ID：201802237350379612   整理番号：18A2179490

走査電子顕微鏡の基礎と解析事例

著者 (3件)： 鈴木俊明 (日本電子) ,  中島雄平 (JEOL USA, Inc.) ,  佐々木義和 (日本電子)
資料名： 電気化学
巻： 86  号： 冬号  ページ： 319-326  発行年： 2018年12月05日 
JST資料番号： G0072B  ISSN： 2433-3255  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・物質の表面形態や組成などを観察,分析するのに走査電子顕微鏡(SEM)を使用。
・SEMは電子源である電子銃,電子線を加速するアノード,電子線照射量を決めるコンデンサーレンズ,電子線焦点を決める対物レンズ,試料表面で電子線を走査する偏向器で構成。
・SEMの基本原理,およびSEM像に大きな影響を与える加速電圧変化の効果を記述。
・試料作製・固定法,および観察テクニックの基本となるチャージングアップ,および熱ダメージへの対策を説明。
・電池正極材料に用いられるLiMn₂O₄,およびLiCoO₂の観察例を紹介。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  モルフォロジー ,  *表面構造 ,  *表面分析 ,  化学組成 ,  電子銃 ,  アノード ,  *電子照射 ,  集光レンズ ,  対物レンズ ,  電子ビーム偏向器 ,  試料調製 ,  充電 ,  熱傷 ,  *電極材料 ,  *カソード ,  マンガン酸塩 ,  リチウム化合物 ,  コバルト酸塩
準シソーラス用語： コバルト酸リチウム ,  コンデンサレンズ ,  チャージ ,  マンガン酸リチウム ,  *正極【電池系】 ,  断面解析 ,  熱損傷 ,  表面形態

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

引用文献 (15件)：

• 1) 中嶌, 鈴木, 小野寺, 西山, 野久尾, 電気加工学会誌, 52(129), 2 (2018);
• 1) 鈴木,現場で役立つ大気分析の基礎, オーム社, pp. 205-212 (2011).
• 2) 裏, ナノ電子光学, 共立出版, pp. 175-177 (2005).
• 3) 裏, ナノ電子光学, 共立出版, pp. 27-47 (2005);
• 3) 吉田, 走査電子顕微鏡, 日本電子顕微鏡学会関東支部会編, 共立出版, pp. 355-358 (2005).

タイトルに関連する用語 (3件)： 走査電子顕微鏡 ,  基礎 ,  解析