文献

J-GLOBAL ID：201802237564375542   整理番号：18A1112301

回転・回転型研磨法におけるパラメータの影響に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on effect of parameters in Rotation & Revolution Type Polishing Method

著者 (3件)： Lin Weimin (Division of Mechanical Science and Technology, Graduate School of Science and Technology, Gunma University 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu-shi, Gunma Prefecture 376-8515, Japan) ,  Wang He (Division of Mechanical Science and Technology, Graduate School of Science and Technology, Gunma University 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu-shi, Gunma Prefecture 376-8515, Japan) ,  Ji Fengmin (Division of Mechanical Science and Technology, Graduate School of Science and Technology, Gunma University 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu-shi, Gunma Prefecture 376-8515, Japan)
資料名： Procedia CIRP  (Procedia CIRP)
巻： 71  ページ： 358-363  発行年： 2018年 
JST資料番号： W3527A  ISSN： 2212-8271  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 研磨工具形状を安定に維持し,最適研磨速度分布により表面粗さを均一に発生させる回転・回転研磨法を従来法の代替として適用した。研磨安定性を改善するために,種々の研磨パラメータの関係を解析した。実験は,多様な条件の下でPreston方程式と幾何学に基づく研磨されたプロファイルに関する数学的な式の有効性を決定して,証明するために行われた。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 幾何学 ,  速度分布 ,  *研磨 ,  バレル研磨
準シソーラス用語： 材料除去 ,  研磨工具 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 材料除去速度 ,  研磨モデル ,  研磨の安定性

分類 (3件)： 研削  (QC03000R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ガラスの製造  (YC02020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 研磨 ,  パラメータ ,  研究