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J-GLOBAL ID：201802237649835965   整理番号：18A1210870

噴霧熱分解による積層酸化亜鉛-酸化モリブデン膜の堆積研究【JST・京大機械翻訳】

Deposition study of stacked zinc oxide - Molybdenum oxide film by spray pyrolysis

著者 (9件)： Liu Cheng-You (Department of Electrical Engineering, National University of Kaohsiung, Kaohsiung 81148, Taiwan) ,  Hsieh Tsung-Mao (Department of Electrical Engineering, National University of Kaohsiung, Kaohsiung 81148, Taiwan) ,  Huang Hsiang-Ming (Department of Electrical Engineering, National University of Kaohsiung, Kaohsiung 81148, Taiwan) ,  Chen Jeng-Lung (Department of Electrical Engineering, National University of Kaohsiung, Kaohsiung 81148, Taiwan) ,  Lan Wen-How (Department of Electrical Engineering, National University of Kaohsiung, Kaohsiung 81148, Taiwan) ,  Shih Ming-Chang (Department of Electrical Engineering, National University of Kaohsiung, Kaohsiung 81148, Taiwan) ,  Lin Jia-Ching (National Chung-Shan Institute of Science & Technology, Taoyuan 32599, Taiwan) ,  Chang Kuo-Jen (National Chung-Shan Institute of Science & Technology, Taoyuan 32599, Taiwan) ,  Lin Wen-Jen (National Chung-Shan Institute of Science & Technology, Taoyuan 32599, Taiwan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ISNE  ページ： 1-2  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なる酸化モリブデン厚さの積層亜鉛オキシド-モリブデンオキシド薄膜を,酢酸亜鉛と塩化モリブデン前駆体を用いた噴霧熱分解によりシリコン基板上に調製した。光ルミネセンス分析において,酸化亜鉛関連ピークをすべての膜について特性化した。酸化モリブデンの厚さの増加とともに,近バンド端発光は酸化亜鉛に対応し,ドナー-励起子と欠陥関連ピークは抑制された。界面における酸化亜鉛と酸化モリブデンの間のバンド曲がりを議論した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 励起子 ,  ドナー ,  *酸化モリブデン ,  薄膜 ,  キャラクタリゼーション ,  酸化物 ,  光ルミネセンス ,  界面 ,  *酸化亜鉛 ,  前駆体 ,  *酸化
準シソーラス用語： バンド曲がり ,  バンド端発光 ,  *噴霧熱分解法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 半導体のルミネセンス  (BM08092S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： 酢酸亜鉛

タイトルに関連する用語 (6件)： 噴霧熱分解 ,  酸化亜鉛 ,  酸化 ,  モリブデン膜 ,  堆積 ,  研究