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J-GLOBAL ID：201802239372521736   整理番号：18A1623258

V形SU-8電熱マイクロアクチュエータの寿命と非線形作動挙動に関する実験的研究【JST・京大機械翻訳】

Experimental Study on the Life and Nonlinear Actuation Behaviors of V-shaped SU-8 Electrothermal Microactuators

著者 (3件)： Zhang Zhuo (College of Mechanical Engineering and Applied Electronics Technology, Beijing University of Technology, Beijing, China) ,  Yu Yueqing (College of Mechanical Engineering and Applied Electronics Technology, Beijing University of Technology, Beijing, China) ,  Zhang Xuping (Department of Engineering, Aarhus University, Aarhus, Denmark)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： ICCA  ページ： 1052-1057  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,V形SU-8ベース電熱マイクロアクチュエータの寿命と非線形作動挙動に関する実験研究を提示した。本研究では,銅とSU-8フォトレジストを用いてV型電熱マイクロアクチュエータを作製した。2つの材料の組合せは,マイクロロボットグリッパ統合と設計のための大きな運動駆動と多くの柔軟性を提供する。生体細胞のようなマイクロスケール物体の操作のために,マイクロロボットグリッパは,微小物体に対するいかなる損傷も引き起こさないように,かなり正確に移動する必要がある。しかし,実世界のマイクロアクチュエータにおいて,電熱作動の非線形性は不正確さを付加し,マイクロロボットグリッパの制御に対してさえ不確実性がある。これは,機械的マイクロロボットグリッパによるマイクロ操作を正確に制御するための課題をもたらす。本研究では,非線形性の3つの源,すなわち,材料特性,酸化および破壊を静的および動的側面の両方で実験的に調べた。詳細な議論と実験結果を与えて,V形電熱マイクロアクチュエータとマイクロロボットグリッパの適切な作動と制御に関する洞察と指針を提供した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 非線形性 ,  *電気加熱 ,  不確実性 ,  つかみ装置 ,  *マイクロアクチュエータ ,  柔軟性 ,  マイクロロボット ,  フォトレジスト ,  銅
準シソーラス用語： 材料特性 ,  マイクロ操作 ,  マイクロスケール ,  生細胞 ,  実験研究 ,  *SU-8 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (8件)： V形 ,  SU-8 ,  電熱 ,  マイクロアクチュエータ ,  寿命 ,  非線形 ,  挙動 ,  実験的研究