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J-GLOBAL ID:201802239537097231   整理番号:18A1685521

Cu支援化学エッチングにより組織化した多結晶シリコン上の反転ピラミッド状構造の配向と光学的性質【JST・京大機械翻訳】

The orientation and optical properties of inverted-pyramid-like structures on multi-crystalline silicon textured by Cu-assisted chemical etching
著者 (12件):
資料名:
巻: 171  ページ: 675-680  発行年: 2018年 
JST資料番号: E0099A  ISSN: 0038-092X  CODEN: SRENA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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Cu支援化学エッチング(CACE)技術に基づく効果的な低コストテクスチャリング法を採用して,種々の結晶粒上に逆ピラミッド状(IPL)構造を形成するために,ダイヤモンドワイヤsa(DWS)多結晶シリコン(mc-Si)ウエハを徹底的に組織化した。最初に,結晶粒<110>,結晶粒<112>および粒<113>におけるIPL構造の配向を確認するために,数学モデルを確立した。この確認により,mc-SiのCACE過程を深く理解することができた。さらに,異なる結晶粒上のIPL構造の光学的性質を調べた。IPL集合組織はウエハ反射率をSiNx堆積の前後でそれぞれ22.4%と4.4%の非常に低いレベルに減少させることを明らかにした。より低い反射率のために,IPLテキスチャードウエハの平均セル効率は19.03%と高く,HF/HNO_3混合溶液を用いたウエハテクスチャのそれより0.52%絶対高い。このCACE技術は,DWS mc-Si太陽電池の産業応用を促進するための新しい洞察を提供する。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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太陽電池 

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