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J-GLOBAL ID：201802239660221845   整理番号：18A0127110

真空サーボ系における動的ガス圧の適応ロバスト制御【Powered by NICT】

Adaptive robust control of dynamic gas pressure in a vacuum servo system

著者 (4件)： Cheng Xiaoxia (FESTO Pneumatics Centre, Huazhong University of Science & Technology, Wuhan 430074, China) ,  Du Linglong (FESTO Pneumatics Centre, Huazhong University of Science & Technology, Wuhan 430074, China) ,  Yang Gang (FESTO Pneumatics Centre, Huazhong University of Science & Technology, Wuhan 430074, China) ,  Li Baoren (FESTO Pneumatics Centre, Huazhong University of Science & Technology, Wuhan 430074, China)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 148  ページ： 184-194  発行年： 2018年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空システムにおける動的ガス圧を制御するためのサーボ技術に基づくシステムを提案した。電空比例方向制御弁(EPPDV)は制御調節因子,ポイントツーポイント制御の制約を越えた真空制御技術を配置するとして使用されている。システム,チャンバーとEPPDVの二種類の主要な成分は,解析したシステムの数学モデルを導出した。空気圧縮,弁漏れのために,パラメトリック不確実性と真空システムにおける不確実な非線形性が存在する。これら不確実性を扱う効果的に提案した適応ロバスト非線形制御器。提示した制御装置は不確定パラメータのオンライン更新を用い精度を改善し,不確実な非線形性の影響を減衰させるためにスライディングモード制御法を利用した。スライディングモード制御設計と適応制御設計の間のコンフリクトを解決するために,プロジェクションマッピングは,パラメータ推定値は,一定の範囲内に保たれるように使用されている。実験結果は,真空サーボ系における調節因子としてのEPPVを用いて実現可能であり,提案した制御器は非線形性を扱うために有効であることを示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 制御装置 ,  パラメータ推定 ,  不確実性 ,  非線形性 ,  *サーボ系 ,  *ロバスト性 ,  方向制御弁 ,  数学モデル ,  適応制御 ,  スライディングモード制御
準シソーラス用語： 非線形制御 ,  パラメトリック不確実性 ,  調節因子 ,  *適応ロバスト制御 ,  *ガス圧 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 真空システム ,  ガス圧力制御 ,  電空比例方向弁 ,  適応ロバスト制御

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 真空 ,  サーボ系 ,  ガス圧 ,  適応ロバスト制御