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文献
J-GLOBAL ID:201802239714967750   整理番号:18A1123540

ピエゾ抵抗カンチレバーを用いたMEMSセンサとその応用

著者 (1件):
資料名:
号: 39  ページ: 62-66  発行年: 2017年02月15日 
JST資料番号: F1541A  ISSN: 1349-9955  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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・MEMS技術を用いて,カンチレバーの根元にピエゾ抵抗を形成し,カンチレバーの傾きを抵抗変化として検出するピエゾ抵抗カンチレバーを提案。
・触覚計測,応力分布計測,圧力分布計測,風速計測,粒度分布計測,気圧計測などに応用するために,ピエゾ抵抗カンチレバーを用いて,各種センサを構築。
・3軸触覚センサ,3次元風速センサ,パーティクルセンサ,気圧センサなどを開発し,その有用性を確認。
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件):
分類
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計測機器一般  ,  圧電デバイス 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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