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J-GLOBAL ID：201802239906336167   整理番号：18A0439058

過酷な環境のための受動無線マイクロエレクトロメカニカル圧力センサ【Powered by NICT】

A Passive Wireless Microelectromechanical Pressure Sensor for Harsh Environments

著者 (4件)： Rogers John E. (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Yoon Yong-Kyu (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Sheplak Mark (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA) ,  Judy Jack W. (Department of Electrical and Computer Engineering, University of Florida, Gainesville, FL, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 27  号： 1  ページ： 73-85  発行年： 2018年 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 1000°Cまでの温度での過酷な環境で動作するように設計したマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)静電容量型受動無線圧力センサを提案した。圧力センサは,サファイアを基板にしたダイヤフラムと構造体,及び白金ベース容量要素を持っている。容量要素は,15GHzのKuバンド電気共振周波数と遠方場センシング機構で動作するように設計されたスロットパッチアンテナの一部として構成されている。電気接地面は横隔膜の背面,印加圧力に応答して偏向に存在する。圧力センサの電気的共振周波数は印加圧力の関数として変化する連続した。,例えば適用圧力の増加は,電気的共振周波数が減少した。圧力センサの感度は,電気的共振周波数の変化に適用した圧力の変化に関連している。三概念実証動圧センサはアンテナ直径5.6nm,5.7nm,5.8mmのシリコンベースのダイヤフラムを用いて報告し,2.2%,2.2%,と5.1kHz/Paの感度を測定し,それぞれ,900Paまで。添加では,三つの実証概念静圧センサは3.4年,3.1年,および2.5kHz/Pa900Paまでの対応する測定感度を報告した。過酷な環境のために設計された高温動的圧力センサもアンテナ直径3.8mmのサファイアを基板にしたダイアフラムを用いた報告されており800Paまで21.7kHz/Paの感度を測定した。[2017 0210]Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 動圧 ,  静電容量 ,  共振周波数 ,  遠方場 ,  *圧力センサ ,  ダイヤフラム ,  MEMS ,  白金 ,  高温 ,  アンテナ ,  *センサ ,  静圧 ,  サファイア
準シソーラス用語： 印加電圧 ,  *ワイヤレス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 環境 ,  無線 ,  圧力センサ